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2007年教育部影像顯示科技人才培育計畫 - 黎明技術學院電機 ...

主要利用曝光光源透過具有線路圖案. 之光罩後,再照射到感光材料(光阻劑). 上,使光阻劑發生光化學反應,而造成光. 阻劑溶解度的差異. 因此將光罩上之線.

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