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論文範例

圖3-3-4 光阻塗佈與顯影工作台…….…………….………………...48 ... TEOS 之沉積於半導體工業上的應用非常頻繁，中文名稱為四乙基正矽酸鹽，化學式為Si(OC2H5)4，它在常溫下為 ...

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