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行政院國家科學委員會專題研究計畫成果報告- 微型三軸振動式 ...

過度，會使得光阻脫落造成圖案不精確的. 問題。 圖21 以光罩一曝光顯影圖案 ... COATER)於玻璃晶片背面塗佈s1813 光阻， ... 其反應化學式如下：.

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