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東海大學環境科學研究所碩士論文積體電路晶圓製造工業水資源 ...

為避免製程中的氣體、石英管、及光阻中的金屬雜質(主要. 為鹼金屬離子)影響熱氧化層的電性，因此，在氧化過程 ... 化學式. 高壓氣體. 不燃性助燃性可燃性毒性. TLV-TWA.

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