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中部科學工業園區光電半導體業職業衛生危害調查與預防科技 ...

此外，從作業環境作業監測分析結果得知，在進行PM 作業時，光阻劑. (PGME、PGMEA、環己酮)有少量逸散在空氣中，且PM 作業濃度大於無PM. 作業濃度，惟仍低於法定容許濃度。

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