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產品應用 - 日月星科技股份有限公司

光阻劑 ，又名光刻膠，（英語：photoresist），是指通過紫外光、深紫外光、電子束、離子束、X射線等光照或輻射，其溶解度發生變化的耐蝕刻薄膜材料，是光刻工藝中的關鍵 ...

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