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半導體製程技術 - 聯合大學

▫ 聚合體吸收顯影劑. ▫ 由於光阻的膨脹(swelling) 使的解析力不好. ▫ 由於主要溶劑是二甲苯(xylene)引起環安的爭點. Page 10. 正光阻. ▫ 曝光的部分溶解於顯影劑. ▫ ...

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