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負型光阻劑-光采光電股份有限公司 - Touch Taiwan

用於薄膜電子束微影及深紫外光敏負型光阻劑 特性﹔ 電子束靈敏度： 120-250 µC / cm2 @ 20 keV 100-350 µC / cm2 @ 50 keV 深紫外線敏感性：

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