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默克推出全新環保光阻去除有機溶劑| 新聞中心 - Merck KGaA

相較於現有的NMP溶劑僅是將光阻從晶圓表面剝除，AZ® 910可以溶解負型和正型的光阻劑，這種新穎的方法將去除光阻的時間縮短了一半，延長了化學藥劑和過濾器 ...

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