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【芯片產業】一文看懂光刻膠原理、種類、市場展望 - 中國
光刻膠(photoresist)又稱光阻劑、光致抗蝕劑,指通過紫外光、深紫外光、電子束、離子束、X射線等光照或輻射,其溶解度發生變化的耐蝕刻薄膜材料, ...
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