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光阻劑用途
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〈分析〉一文解析半導體核心材料:光阻劑 - 鉅亨
光阻劑 由成膜劑、光敏劑、溶劑和添加劑等主要化學品和其他輔助化學品所組成。在光刻流程中,光阻劑被均勻分布(利用離心力原理) 在晶圓片、玻璃和金屬等 ...
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