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SU-8 光阻在矽晶圓基材上製作微流道面板之研究

面板,進而提供微細過濾流道與翻鑄微流道模具(Stamp)用途。本研究是利用本校. 黃光室 ... 促使光阻由中心部分逐漸往外圍移動,以達到光阻劑均勻塗佈的目的。光阻的厚度.

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