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自動化阻劑處理系統介紹

(alicyclic) 為主結構的ArF 光阻；在製程技術上也. 不停的引進新的觀念，如偏軸照光(OAI)、光學微. 影鄰近效應修正(OPC)、相位轉移光罩(PSM)、抗. 反射層塗佈(BARC、TARK) ...

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