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東海大學環境科學研究所碩士論文積體電路晶圓製造工業水資源 ...

以正光阻為例，其感光和顯影的反應說明如下：光阻感光劑. 或稱為光活性化合物(Photoactive Compound, PAC)，本身難溶於. 鹼，經過光源之曝光後，其結構重新排列(Rearrange) ...

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