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CN1987663B - 光阻清洗剂

[0030] 表3为包含乙酸丙二醇单甲基醚酯（PGMEA)，环己酮（ANONE)及醋酸正丁酯(nBAc)各种不同的溶剂，其毒性、爆炸及化学特性测试的结果。由表1〜3可知，本发明所用ANONE与 ...

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