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光阻劑毒性
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https://technews.tw/2020/06/29/tsmc-big-business-opportunities-for-semiconductor-materials-in-taiwan/
半導體龍頭赴美投資不能沒有的化工台灣隊,揭祕台積電背後的 ...
早在2019 年1 月台積電發生「光阻液事件」,損失數億美元後,已意識到先進製程不只靠台積電自己的技術才能完成,半導體材料品質的精進更關鍵。
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