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濕式化學品在半導體製程中之應用 - 材料世界網

入、乾式蝕刻及光阻灰化時，因離子撞 ... 光阻. 蝕刻不完全. 環境. 降低氧化層品質. 塑膠容器. 操作人員. 表面微粗糙 ... 有低燃點及高毒性的缺點，新一代開發.

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