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黃光微影 - 應用物理學系

正光阻的成分有三種：溶劑、樹脂、光活性化合物。溶劑可讓光阻保持容液狀態使光阻可以旋舖方式塗佈在基板上。樹脂提供光阻的粘著性、抗蝕刻能力，並可被鹼性顯影液分解 ...

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