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默克推出全新環保光阻去除有機溶劑有助綠化晶片製程 - 工商時報

「該產品的純然環保化學成分，簡化濕製程的處理流程，大幅的改善生產流程的環境足跡。一加侖的AZ 910去光阻劑，可以清洗超過250片有80%負型光阻劑覆蓋 ...

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