你即將離開本站

並前往https://patentimages.storage.googleapis.com/97/10/f6/f1e866572e9a8c/TWI467325B.pdf

(19)中華民國智慧財產局

習知於浸潤微影中使用界於光阻劑及浸潤流體間之保護阻擋. 材料,以避免光阻劑成分的淋洗(leaching)與曝光工具光學材料的. 積垢,以及提供抗反射性質。該阻擋層可自添加至光阻 ...

確定！ 回上一頁

查詢 「光阻劑成分」的人也找了：

  1. 光阻化學式
    2.
  2. 光阻劑毒性
    3.
  3. 光阻原理
    4.
  4. 光阻劑種類
    5.
  5. euv光阻劑
    6.
  6. 光阻pr
    7.
  7. 光阻液
    8.
  8. 光阻劑台積電
    9.