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含其之親水性光阻劑組成物 - Google Patents

習知技術中，顯影劑通常為鹼性溶液，其成分可為氫氧化鉀(KOH)、氫氧化鈉(NAOH)或碳酸鈉/碳酸氫鈉(Na 2 CO 3 /NaHCO 3 )系列，並搭配適當界面活性劑，可達成顯影洗淨之功能 ...

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