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光阻劑- 維基百科，自由的百科全書

如248nm光阻劑常用聚對羥基苯乙烯及其衍生物為光阻劑主體材料，193nm光阻劑為聚酯環族丙烯酸酯及其共聚物，EUV光阻劑常用聚酯衍生物和分子玻璃單組分材料等為主體材料。除 ...

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