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台積電推動光阻供應鏈在地化年產值逾10億元

（中央社記者張建中新竹29日電）晶圓代工廠台積電成功推動光阻供應鏈在地 ... 全台第一座EUV光阻生產工廠，截至111年4月，已產出超過千瓶EUV光阻劑， ...

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