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基於現有半導體製程的微型光通訊元件製造技術 - Quatek

本文概要介紹了次波長光學元件(SOE)製造技術，它向人們展示了微型光通訊元件製造技術的重大變革，值得電子產業的密切關注。 目前基於晶圓的奈米級加工技術已進入商用化 ...

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