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(11)公開編號

對可見光譜中自近UV(紫外)至約460 nm範圍內之波長敏感。此敏感性不. 會突然終止,但認為不發射或幾乎不發射低於520 nm之輻射之輻射源用. 於照明光微影室係安全的。

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