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半導體設備商ASML德國廠失火恐影響晶圓廠擴產 - 民眾日報
半導體製造設備大廠艾司摩爾(ASML)在德國柏林的工廠3日發生火警。 ... 表示,此次失火的Berliner Glas製造的設備包括晶圓台(wafer tables)、光罩 ...
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