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150mm光罩傳送盒-技術移轉-產業服務

技術簡介. SMIF(Standard Mechanical Interface)介面光罩傳送盒，係一密封隔離的潔淨容器，提供光罩片進出各種俱標準化機械介面之半導體製程設備及輸送系統，或儲放於 ...

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