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光罩是做什麼的
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台積電為何這麼強: 半導體的計算光刻及佈局優化| 誠品線上
佈局是依靠光刻實現在晶圓基體上的,所有的佈局可製造性檢查都是基於光刻模擬來實現的。這兩章是後續章節 ... 光罩上的圖形必須對這種偏差做重新定向(retargeting)。
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