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半導體光罩是什麼 - Lubos
一個光罩是一片熔融二氧化矽(石英)板,通常為6英寸(約152 毫米)矩形,其上覆蓋著由不透明、透明和相偏移區域所組成的圖案,在微影製程中圖案被投影到晶圓上,定義一層 ...
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