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挽救摩爾定律：ASML 極紫外光（EUV）微影技術量產的開發歷程

ZEISS 的EUV AIMS 光罩影像機及Lasertec 的EUV 光罩基材檢測機器就是在這些聯盟的資助下完成開發的。 總之，EUV 量產的開發是微影機台加上生態系統再加上 ...

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