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光罩制造

光罩 制造采用的是光罩基板，即镀了吸收薄膜的石英基板。 KLA的光罩检测、量测和数据分析系统产品能够协助光罩基板、光罩和IC制造商识别光罩缺陷和图案位置错误，降低良 ...

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