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晶圓的處理－ 微影成像與蝕刻

光蝕刻技術 ... 去除溶解度較高的光阻劑. 蝕刻. 移除未被光阻劑覆蓋的. 晶圓外膜. 剝除光阻劑. 擴散等表面處理 ... 光罩，遮罩，罩遮.

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