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全方位微影技術介紹 - ASML

光罩 上的電路圖是實際在晶片上呈現圖案的4倍大。透過光線投射出光罩上的圖案，微影系統中的光學器件會微縮並將圖案聚焦到感光的矽晶圓上。當圖案印好之後，系統會稍微 ...

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