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製程材料跳脫摩爾另闢蹊徑AI掀晶片設計/製造變革 - 新通訊

若為了維持光源強度而將功率提高至250w以上，則會有燃燒的風險，且光罩防塵薄膜在高功率的EUV光源下可能會產生微粒，造成光罩汙染。為解決此問題，廠商也 ...

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