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北美智權報第93期：相位移光罩技術與半導體微影製程

在隨後的研討會中，知名廠商Intel更指出，該公司自研發0.18微米(180奈米)製程技術開始，已經利用該相位移光罩技術生產了超過10億顆晶粒。

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