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台積電揭2 奈米最新進度：將著重改善EUV 技術品質 - 報橘

此外，光罩技術在先進微影技術中極為關鍵。台積電去年完成3 奈米製程光罩技術開發，大量導入更複雜且先進的極紫外光光罩技術，且持續精進極 ...

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