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台積電為何這麼強：半導體的計算光刻及佈局優化 - momo購物網

這種光罩圖形修正有效地補償了成像時的扭曲，最終在晶圓表面得到與佈局設計儘量一致的圖形。隨著技術節點的進一步變小，鄰近效應修正演變得越來越複雜， ...

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