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光罩前景
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EUV缺陷為晶片前景蒙上陰影 - Medium
EUV缺陷為晶片前景蒙上陰影. 極紫外光微 ... 此外,他還表示支持直接電子束寫入,因為EUV使用的複雜相移光罩最終將膨脹至目前浸潤式光罩價格的8倍。
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