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以低介電常數材料作為深紫外光微影之抗反射層研究

本文研究一種利用低介電常數材料作為深紫外光微影中底抗反射層技術，可藉由控制其覆蓋. 硬質罩幕層之厚度，得到一性質極佳的底抗反射層，可以將來自底材的反射率降低至1% ...

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