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ASML | 全方位微影技術介紹
光罩上的電路圖是實際在晶片上呈現圖案的4倍大。透過光線投射出光罩上的圖案,微 ... ASML是全世界唯一採用極紫外光的微影設備製造商。為了能控制EUV極紫外光光源,並 ...
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