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光氣洩漏
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中部科學工業園區光電半導體業職業衛生危害調查與預防科技 ...
如塗佈製程所使用之有機溶劑未能有效捕集於局部排. 氣系統,或預防保養作業時為作業方便需將原有密閉裝置拆除(如機台蓋板),. 或是在更換光阻液時,均易造成作業場所有機 ...
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