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ASML在台2奈米研發補助最快5月拍板 - 工商時報
經濟部官員表示,審查重點為如何提升本土技術、國產自製率;目前台廠供應鏈已具備深紫外光(DUV)設備中的光罩傳輸模組製造能力,這次艾司摩爾計劃案 ...
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