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光柵製作
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塑膠基板上具閃耀角與曲率光柵之製造方法與應用 - 智財技轉處
反射式曲面光柵需要於一曲面上製作微米到次微米結構,在製程上有相當的難度。一般是以干涉光微影術對一曲面上的光阻進行曝光顯影技術製作出光柵,配合離子蝕刻(ion-etching) ...
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