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多晶矽次波長光柵反射鏡於標準晶圓廠製程的實現 - 國立中山大學

鏡，是將製程裡原本作為多晶矽閘極層設計成高折射率光柵並能反射. 正向入射下的1310nm 以及1550nm 等通訊波長，光柵的設計以及製作. 都遵守著製程規範並無要求任何規則 ...

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