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凹面型微光柵分光元件之設計與應用

較一般常見到之光柵結構，其繞射階數在1－5 之 ... 其入射光大於45 度，此種光柵通常操作繞射級數 ... 本實驗第. 一步驟是利用ASE 蝕刻機制，進行非等向性向下.

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