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I305278專利名稱繞射光柵元件模仁及光柵元件之製造方法

繞射光柵 元件的製作方法上不外乎利用全像術干涉微影、電子束寫入與雷射寫入。 ... 將實驗上所需的光柵直接感光於元件上，作為該元件的架構之一，無法以同一光柵元件 ...

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