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光柵實驗
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以全像微影方法製作一維週期性結構 - 國立交通大學機構典藏
... 射理論,並計算不同相位光柵的繞射. 效率。 第三章為SU8 樣品製作方法與量測儀器介紹,說明塗佈光. 阻劑到微影完成的步驟,及使用測量儀器的原理。第四章為實驗量.
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