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基於X光光刻製造技術之凹面光柵分光晶片之設計與檢測

本論文研究凹面型光柵分光晶片的設計與檢測。旨在介紹如何利用繞射光柵的理論與原理，來設計一個適合使用X光光刻技術在矽基材製作之凹面型光柵。

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