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以嚴格向量繞射理論設計分析與製作次波長微型光學元件計劃編號

(關鍵詞: 次波長結構、向量繞射理論、表面浮雕光栅、電子束 ... 上式為高頻二元光栅的二次等效介質理論公式。 以上推導為一維光栅的設計理論,為了得到設計中更大的自由.

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