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微機械感測器及振盪器1. 用作光聲成像之CMOS MEMS 電容式 ...

相機與應用於光聲成像之0.18μm CMOS 超高感測度超音波感測器(國科會計畫)；（三）應用於中醫 ... CMOS MEMS 鎖相迴路電路驅動之微振盪器及微質量感測器陣列.

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